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風(fēng)淋室在MEMS中試平臺(tái)的應(yīng)用

    近日,fenglins在朋友的帶領(lǐng)下,來(lái)參觀某MEMS中試平臺(tái),聽(tīng)相關(guān)負(fù)責(zé)人介紹道:近千平米的潔凈室便是微機(jī)電制造的“主戰(zhàn)場(chǎng)”，按照工藝流程分為“光刻區(qū)”、“蝕刻區(qū)”、“薄膜區(qū)”、“擴(kuò)散區(qū)”、“注入?yún)^(qū)”和“封裝測(cè)試區(qū)”。筆者穿梭在160多套頂尖的制造機(jī)臺(tái)間，“高大上”的氣息撲面而來(lái)。而且在進(jìn)入這種車(chē)間的前面都要經(jīng)過(guò)一道風(fēng)淋室進(jìn)行風(fēng)淋除塵后才能進(jìn)入到里面.

    整個(gè)MEMS中試平臺(tái)的潔凈度等級(jí)分為四種，分別是class10、100、1000、10000，潔凈程度最嚴(yán)苛的是光刻區(qū)，按照標(biāo)準(zhǔn)，即使是肉眼看不見(jiàn)的灰塵，一立方米的空氣中最多只能存在幾粒。

    MEMS中試平臺(tái)的專(zhuān)業(yè)還體現(xiàn)在對(duì)環(huán)境的苛刻要求，溫度要時(shí)刻保持23度，上下幅度不能超過(guò)1度，濕度要在45%，上下幅度不能超過(guò)5%。進(jìn)入該平臺(tái)的“心臟”--潔凈室之前，所有人員必須換上全套的防塵服，手套、口罩自然也是必要裝備。可別以為這樣就能輕松進(jìn)入了，身份登記和隨身物品清洗后，你還要面臨風(fēng)淋室里面的8個(gè)風(fēng)淋?chē)娮爝M(jìn)行10秒鐘的吹風(fēng)清潔，以確保拂去塵土。

    要保持清潔，除實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)和定期打掃外，還有一個(gè)隱藏在地板地下的奧秘。“其實(shí)我們現(xiàn)在看到的機(jī)臺(tái)都只是‘冰山一角’，它們的一些附屬設(shè)備都‘埋’在地板下，比如冷卻機(jī)、氣柜、泡沫管等等。”工作人員說(shuō):“將機(jī)臺(tái)的部分‘身體’埋起來(lái)可以有效減少灰塵的堆積。”仔細(xì)觀察，你還會(huì)發(fā)現(xiàn)地板上分布著許多小洞，這些小洞是為了讓灰塵隨著空氣層流從上至下流到“地下”并排出的獨(dú)特設(shè)計(jì)。這個(gè)也是潔凈室里面最常見(jiàn)的一種送風(fēng)方式,隨時(shí)著和各種潔凈度要求的提高, MEMS中試平臺(tái)的潔凈要求也是相對(duì)比較高的,這就要求所配套使用的風(fēng)淋室一定要達(dá)到相關(guān)要求.